イクイップメントエンジニアリングシステム: EES
製品の品質を支える要因には、装置設定やプロセスレシピ、操業結果などのいくつかの階層があります。 これらの要素からなるピラミッドの頂点に位置するのが製品の品質です。 EESはこれらの全ての階層の管理を実現し、従来よりも一層高いレベルでの歩留り損失の防止とコスト削減を実現します。
| 要因 | 測定方法 |
| 製品品質 | 製品試験 |
| 操業 | 工程内検査 |
| 結果 | PSD, PHD |
| プロセスレシピ | PRM, ARS |
| 装置設定 | ECM |
| : EES の機能 |
品質要因の階層コンセプト図
EESの主な機能は、プロセスサマリーデータ(PSD), プロセスヒストリーデータ(PHD), プロセスレシピモニタリング(PRM), 自動レシピ選択(ARS) および装置設定モニタリング(ECM)から成り立っています。 EESは長時間のオペレーショントレーニングや複雑な操作を必要とせず、簡単にお使いいただけます。 ご要望に因り、各種機能のカスタマイズにも応じております。
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