设备工程系统: EES
质量因素层次图是一张金字塔形状的图，有几层，分别是操作结果、工艺配方及设备配置等因素，产品质量位于该图的顶端。EES巩固了该层次图中的所有层次，可以比其他传统的方法更好地控制良率损失并节约成本
| 因素 | 测量方法 |
| 产品质量 | 产品测试 |
| 操作 | 在线检测 |
| 结果 | PSD |
| 工艺配方 | PRM |
| 设备配置 | ECM |
| : EES模块功能 |
图。质量因素层次图
EES的主要功能模块包括加工数据汇总（Process Summary Data: PSD），工艺配方监控（Process Recipe Monitoring: PRM）和设备配置监控（Equipment Configuration Monitoring: ECM）。用户会发现EES非常容易使用，不需要进行长时间的操作培训，也没有复杂的操作。还可以根据每个客户的需求定制功能。
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